時序解析微光量測(Time-Resolved Emission,簡稱TRE,用於半導體元件的缺陷(defects)檢驗,一種常用的非侵入式波形測量方法,它能從晶片的背面探測晶片內部節點的時序波形。完善的TRE系統能提供很高的頻寬,精確的探測尺寸精度,而且能顯示晶片內部所有節點的波形。TRE波形一般用於偵測不正確的信號。
電光探測/電光頻率成像(Electro Optical Probing / Electro Optical Frequency Mapping or Laser Voltage Image+Probe,簡稱 EOP/EOPM or LVX)。當IC 屬於功能性失效, 而且需針對IC 內部信號量測與分析,以電光效應偵測IC 內部微小信號來量測波型與時序, 進而偵錯與分析IC問題。
設備名稱 | 設備能力 |
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Electric load
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Meridian
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