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semiconductor verification

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掃描式電子顯微鏡 (SEM) & EDS

利用電子束對樣品表面掃描,加速電子束掃描時會激發出二次電子、背向散射電子、特性X-ray, 收集二次電子或背向散射電子來成像, 特性X-ray可做成份分析。

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