熱點偵測-雷射光阻值變化偵測 (OBIRCH)

主要利用雷射光束在IC表面掃描，雷射光束造成掃瞄區域內的材料被加熱，若IC中存在缺陷，附近區域的熱傳導不同於其它的完整區域，則該區引起的溫度變化會不同，而溫度變化會造成電阻值改變ΔR。如果在掃描同時對樣品施加定電壓，則可偵測到為電流變化關係為ΔI=(ΔR/R)I。將雷射加熱引起的電阻和電流變化利用電腦以圖元方式在掃描區域紀錄，即可做出定位。

應用場景

• Silicon base操作
• 閘極氧化層漏電
• Short異常分析
• 金屬線缺陷/導通孔/接觸孔等阻值異常分析

​設備能量

檢測案例

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