熱點偵測-熱輻射故障定位顯微鏡 (Thermal EMMI)
利用高靈敏度的InSb相機,在加電壓且利用Lock in的方式來偵測熱輻射的分佈,借此來定位失效位置,也利用熱傳播特性所得到的相位圖(Phase)來估算Z軸的相關位置。
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