熱點偵測-熱輻射故障定位顯微鏡 (Thermal EMMI)

利用高靈敏度的InSb相機，在加電壓且利用Lock in的方式來偵測熱輻射的分佈,借此來定位失效位置，也利用熱傳播特性所得到的相位圖（Phase）來估算Z軸的相關位置。

 應用場景

• IC封裝及IC內部短路分析
• 低阻抗分析 ( <10 ohm)
• 非破壞性檢測 (IC可不開蓋)
• PCB/模組的金屬線路缺陷
• TFT-LCD漏電/有機EL漏電定位
• 新制程開發階段device內部異常發熱的觀測 

​設備能量

檢測案例

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