超音波掃描顯微鏡 (SAT)

超音波掃描顯微鏡 (SAT)是透過反射、穿透、分散、材料變化與缺陷產生不同訊號，進而產生不同檢驗圖像作為分析．SAT運用各種不同頻率的探頭來做各種樣品的非破壞檢測，其可無損的檢測IC內部結構，可分層、多層掃描檢測IC內部各項缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞、晶界邊界等），並檢測出IC表徵和測量材料的屬性。

應用場景

• 非破壞性、無損傷檢測內部結構
• 可分層掃描、多層掃描
• 可檢測各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞、晶界邊界等）
• 表徵和測量材料屬性

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