超音波掃描顯微鏡 (SAT)
超音波掃描顯微鏡 (SAT)是透過反射、穿透、分散、材料變化與缺陷產生不同訊號,進而產生不同檢驗圖像作為分析.SAT運用各種不同頻率的探頭來做各種樣品的非破壞檢測,其可無損的檢測IC內部結構,可分層、多層掃描檢測IC內部各項缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞、晶界邊界等),並檢測出IC表徵和測量材料的屬性。
應用場景
設備能量
檢測案例
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